В России произведены первые лазеры для литографии

 © static.cnews.ruНа московском предприятии ГК «Лассард» произведены первые опытные образцы эксимерного лазера, который является ключевым для литографического процесса изготовления микроэлектроники с нормами проектирования вплоть до 65 нм.Эксимерный лазер, опытные образцы которого сегодня произведены ГК «Лассард», позволяет говорить о том, что мы все ближе к производству литографов на 130 нм (который появится в 2026 году), а в перспективе — и на 90нм, — заявили в Министерстве промышленности.— Лазер дает возможность модифицировать характеристики в сторону более тонкой топологии. Более того, скажу, что мы уже ведем работу на перспективу, разрабатывая материалы и заказывая работы для установок 90 нм&n...

https://sdelanounas.ru/blogs/163051/

#ГК_"Лассард" #микроэлектроника #полупроводники #импортозамещение #Москва

Создана установка плазмохимического осаждения на 300-мм кремниевых пластинах

 © tehnoomsk.ruРоссийское предприятие НИИТМ (Зеленоград, Москва) завершило разработку и выпустило опытный образец первой отечественной установки плазмохимического осаждения на 300-мм кремниевых пластинах. Это оборудование востребовано в программах по созданию российской микроэлектронной промышлености, ранее аналогичные установки приобретались за рубежом, а имевшиеся отечественные работали с пластинами меньшего размера, что снижало количество готовых чипов и повышало их стоимость. На разработку и создание действующей первой российской установки для плазмохимического осаждения на кремниевых пластинах диаметром 300 мм ушло менее 4 лет (проект стартовал в 2021 году). Разработанные и внедренные в оборудовании российские технологии позволяют работать не только с&n...

https://sdelanounas.ru/blogs/167394/

#микроэлектроника #полупроводники #НИИТМ #Москва